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工具显微镜：微观世界的"精密天平"

文章出处：行业新闻 发表时间：2022-10-10
　

工具显微镜通过物镜放大与光栅尺编码，实现微米级长度/角度测量。其核心结构包括：复消色差物镜（分辨率≤0.1μm）、双目镜筒（支持目视/数字双模式）及精密二维平台。在半导体行业，可检测晶圆边缘粗糙度；在模具制造中，能测量0.001mm的型腔尺寸。尼康等品牌产品配备激光干涉仪，定位精度达±0.5μm。随着纳米技术发展，支持原位观测的显微镜将实现动态形貌分析。

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